Low Pressure Plasma Cleaning and Doping of CVD Graphene - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Low Pressure Plasma Cleaning and Doping of CVD Graphene

D. Marinov
  • Fonction : Auteur
G. Cunge
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
D. Ferrah
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
E.V. Johnson
CV
J.P. Booth
CV

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01878405

Soumis le : vendredi 21 septembre 2018-09:16:25

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:20:45

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01878405 , version 1 (21-09-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01878405 , version 1

Citer

D. Marinov, G. Cunge, D. Ferrah, E.V. Johnson, J.P. Booth. Low Pressure Plasma Cleaning and Doping of CVD Graphene. AVS 62nd International Symposium & Exhibition, 2015, San José, United States. ⟨hal-01878405⟩

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