RFEA analyzers to measure IVDF through high−aspect holes in pulsed ICP plasmas
G. Cunge.
(1)
,
M. Darnon.
(1)
,
J Dubois.
(1)
,
P Bezard.
(1)
,
O Mourey.
(1)
,
C Petit−etienne.
(1)
,
L Vallier.
(1)
,
E Despiau−pujo.
(1)
,
O Joubert.
(1)
M. Darnon.
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17906
- IdHAL : maxime-darnon
- ORCID : 0000-0002-6188-7157
- IdRef : 124051758
C Petit−etienne.
- Fonction : Auteur
- PersonId : 745766
- IdHAL : camille-petit-etienne
E Despiau−pujo.
- Fonction : Auteur
- PersonId : 754756
- IdHAL : emilie-despiau-pujo
- ORCID : 0000-0002-7761-6343
- IdRef : 142894265