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Communication dans un congrès

RFEA analyzers to measure IVDF through high−aspect holes in pulsed ICP plasmas

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01878109
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 20 septembre 2018 - 16:27:07
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01878109, version 1

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Citation

G. Cunge., M. Darnon., J Dubois., P Bezard., O Mourey., et al.. RFEA analyzers to measure IVDF through high−aspect holes in pulsed ICP plasmas. Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics XI, 2015, Porquerolles, France. ⟨hal-01878109⟩

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