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High throughput sub-10 nm metallic particles organization on templates made by block copolymer self-assembly and nanoimprint

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01869181
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 6 septembre 2018 - 12:25:04
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:08

Identifiants

  • HAL Id : hal-01869181, version 1

Citation

J. Arias-Zapata, J. Cordeiro, S. Böhme, C. Girardot, J. Garnier, et al.. High throughput sub-10 nm metallic particles organization on templates made by block copolymer self-assembly and nanoimprint. Microelectronic Engineering, Elsevier, 2015, 141, pp.155. ⟨hal-01869181⟩

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