Lithographies alternatives en microélectronique - nanoimpression et auto-assemblage de copolymères à blocs - Université Grenoble Alpes
Hdr Année : 2021

Lithographies alternatives en microélectronique - nanoimpression et auto-assemblage de copolymères à blocs

Fichier non déposé

Dates et versions

tel-04728245 , version 1 (09-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : tel-04728245 , version 1

Citer

M. Zelsmann. Lithographies alternatives en microélectronique - nanoimpression et auto-assemblage de copolymères à blocs. Micro et nanotechnologies/Microélectronique. universite grenoble alpes, 2021. ⟨tel-04728245⟩
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