Towards Greener ALD Processes: The Precursor Chemistry Is Key - Université Grenoble Alpes
Poster De Conférence Année : 2022

Towards Greener ALD Processes: The Precursor Chemistry Is Key

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04726083

Soumis le : mardi 8 octobre 2024-14:43:13

Dernière modification le : lundi 16 décembre 2024-15:37:51

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04726083 , version 1 (08-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04726083 , version 1

Citer

Matthieu Weber, Octavio Graniel, David Munoz-Rojas, Nils Boysen, Anjana Devi. Towards Greener ALD Processes: The Precursor Chemistry Is Key. ALD/ALE 2022, Jun 2022, Ghent, Belgium. ⟨hal-04726083⟩

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