Poster De Conférence
Année : 2022
Anne-Christine Jacob : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04726083
Soumis le : mardi 8 octobre 2024-14:43:13
Dernière modification le : mercredi 9 octobre 2024-03:20:19
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04726083 , version 1
Citer
Matthieu Weber, Octavio Graniel, David Munoz-Rojas, Nils Boysen, Anjana Devi. Towards Greener ALD Processes: The Precursor Chemistry Is Key. ALD/ALE 2022, Jun 2022, Ghent, Belgium. ⟨hal-04726083⟩
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