Towards Greener ALD Processes: The Precursor Chemistry Is Key - Université Grenoble Alpes
Poster De Conférence Année : 2022
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04726083 , version 1 (08-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04726083 , version 1

Citer

Matthieu Weber, Octavio Graniel, David Munoz-Rojas, Nils Boysen, Anjana Devi. Towards Greener ALD Processes: The Precursor Chemistry Is Key. ALD/ALE 2022, Jun 2022, Ghent, Belgium. ⟨hal-04726083⟩
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