Communication Dans Un Congrès
Année : 2023
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04585351
Soumis le : jeudi 23 mai 2024-15:43:53
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:01:17
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04585351 , version 1
Citer
S. Hammami, M. Wehbe, S. Labau, C. Petit-Etienne, B. Alloing, et al.. Controlled nanopatterning and plasma etching of sub-100 nm nanopillars for low dislocation density of pendeo-epitaxy GaN: Towards MicroDisplays. SPIE OPTO, 2023, SAN FRANCISCO, United States. ⟨hal-04585351⟩
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