Improvement of SiN waveguide LER for photonic application - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Improvement of SiN waveguide LER for photonic application

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04511476

Soumis le : mardi 19 mars 2024-15:57:15

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:01:17

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04511476 , version 1 (19-03-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04511476 , version 1

Citer

V. Antunes, C. Petit-Etienne, E. Pargon. Improvement of SiN waveguide LER for photonic application. 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France. ⟨hal-04511476⟩

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