Communication Dans Un Congrès
Année : 2023
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04511476
Soumis le : mardi 19 mars 2024-15:57:15
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:01:17
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04511476 , version 1
Citer
V. Antunes, C. Petit-Etienne, E. Pargon. Improvement of SiN waveguide LER for photonic application. 13th Plasma Etch and Strip in Microtechnologies workshop (PESM), Jun 2023, Grenoble, France. ⟨hal-04511476⟩
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