Brevet
Année : 2021
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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03780240
Soumis le : lundi 19 septembre 2022-10:38:53
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-09:51:18
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03780240 , version 1
Citer
M. Legallais, B. Salem, T. Baron, L. Vauche, M. Plissonnier, et al.. Procédé de préparation d'un composant microélectronique comprenant une couche à base d'un matériau III-V. France, Patent n° : Brevet français n° de dépôt : FR2105307. 2021. ⟨hal-03780240⟩
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