Procédé de réalisation d'une couche diélectrique sur une structure en matériaux III-V - Université Grenoble Alpes
Brevet Année : 2020

Procédé de réalisation d'une couche diélectrique sur une structure en matériaux III-V

M. Legallais
  • Fonction : Auteur
B. Salem
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
T. Baron
Laboratoire des technologies de la microélectronique
M. Plissonnier
  • Fonction : Auteur
R. Gwoziecki
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03780210

Soumis le : lundi 19 septembre 2022-10:32:14

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-09:54:40

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03780210 , version 1 (19-09-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03780210 , version 1

Citer

M. Legallais, B. Salem, T. Baron, M. Plissonnier, R. Gwoziecki. Procédé de réalisation d'une couche diélectrique sur une structure en matériaux III-V. France, Patent n° : Brevet français n° de dépôt : FR2007279. 2020. ⟨hal-03780210⟩

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