Procédé de réalisation d'une couche diélectrique sur une structure en matériaux III-V - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2020

Procédé de réalisation d'une couche diélectrique sur une structure en matériaux III-V

M. Legallais
  • Fonction : Auteur
M. Plissonnier
  • Fonction : Auteur
R. Gwoziecki
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03780210 , version 1 (19-09-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03780210 , version 1

Citer

M. Legallais, B. Salem, T. Baron, M. Plissonnier, R. Gwoziecki. Procédé de réalisation d'une couche diélectrique sur une structure en matériaux III-V. France, Patent n° : Brevet français n° de dépôt : FR2007279. 2020. ⟨hal-03780210⟩
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