Brevet
Année : 2019
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03778215
Soumis le : jeudi 15 septembre 2022-14:47:22
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:26
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03778215 , version 1
Citer
X. Chevalier, M. Zelsmann, G. Pound-Lana, P. Bezard, M. Serege. Procédé de fabrication d’une couche d’arrêt de gravure pour nanolithographie par autoassemblage dirigé. France, Patent n° : FR3105755. 2019. ⟨hal-03778215⟩
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