Communication Dans Un Congrès
Année : 2020
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03449336
Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-15:43:37
Dernière modification le : lundi 16 décembre 2024-15:40:56
Citer
Moustapha Jaffal, Taguhi Yeghoyan, Vincent Pesce, Gauthier Lefevre, Ahmad Chaker, et al.. Topographic Area Selective Deposition (TSD): a comparison between PEALD/q-ALE and PEALD/sputtering approaches. 7th International Atomic Layer Etching Workshop (ALE 2020), Jun 2020, virtuelle, France. ⟨10.1116/6.0000969⟩. ⟨hal-03449336⟩
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