New insight into vertical topographical selective deposition of tantalum oxide Ta2O5 by morphological analyses - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

New insight into vertical topographical selective deposition of tantalum oxide Ta2O5 by morphological analyses

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03449194 , version 1 (25-11-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03449194 , version 1

Citer

Gauthier Lefevre, Moustapha Jaffal, Taguhi Yeghoyan, Rémy Gassilloud, Nicolas Posseme, et al.. New insight into vertical topographical selective deposition of tantalum oxide Ta2O5 by morphological analyses. Advanced Nanomaterials Congress 2021, Oct 2021, Stockolm, Sweden. ⟨hal-03449194⟩
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