Communication Dans Un Congrès
Année : 2021
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03448932
Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-14:19:57
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-17:12:04
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03448932 , version 1
Citer
Yannick Bleu, Camille Petit-Etienne, Laurène Youssef, Jonathan Faugier-Tovar, Quentin Wilmart, et al.. Optimization process for the fabrication of ultra-low loss PECVD silicon nitride-on-insulator waveguides. Micro and Nano Engineering Conference, Sep 2021, turin, Italy. ⟨hal-03448932⟩
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