Optimized ultraviolet grayscale process for high vertical resolution applied to spectral imagers - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2021

Optimized ultraviolet grayscale process for high vertical resolution applied to spectral imagers

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03448828

Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-13:32:27

Dernière modification le : vendredi 5 avril 2024-14:06:06

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03448828 , version 1 (25-11-2021)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03448828 , version 1

Citer

Nadine Gerges, Camille Petit-Etienne, Marie Panabière, Jumana Boussey, Yann Ferrec, et al.. Optimized ultraviolet grayscale process for high vertical resolution applied to spectral imagers. Electron Ion and Photon Beam technology and Nanofabrication EIPBN 2021, Jun 2021, on line, France. ⟨hal-03448828⟩

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