Top-coats for scalable nano-manufacturing with high-χ block copolymers in lithographic applications - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Top-coats for scalable nano-manufacturing with high-χ block copolymers in lithographic applications

Xavier Chevalier
Cindy Gomez Correia
  • Fonction : Auteur
Philippe Bézard
  • Fonction : Auteur
Matthieu Sérégé
  • Fonction : Auteur
Benjamin Cabannes-Boué
  • Fonction : Auteur
Célia Nicolet
  • Fonction : Auteur
Christophe Navarro
  • Fonction : Auteur
Ian Cayrefourcq
  • Fonction : Auteur
Marcus Müller
Georges Hadziioannou
  • Fonction : Auteur
Ilias Iliopoulos
  • Fonction : Auteur
Guillaume Fleury

Dates et versions

hal-03448358 , version 1 (25-11-2021)

Identifiants

Citer

Xavier Chevalier, Cindy Gomez Correia, Gwenaelle Pound-Lana, Philippe Bézard, Matthieu Sérégé, et al.. Top-coats for scalable nano-manufacturing with high-χ block copolymers in lithographic applications. Advances in Patterning Materials and Processes XXXVIII, Feb 2021, Online Only, France. pp.26, ⟨10.1117/12.2583717⟩. ⟨hal-03448358⟩
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