Top-coats for scalable nano-manufacturing with high-χ block copolymers in lithographic applications - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Top-coats for scalable nano-manufacturing with high-χ block copolymers in lithographic applications

Xavier Chevalier
Cindy Gomez Correia
  • Fonction : Auteur
Gwenaelle Pound-Lana
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Philippe Bézard
  • Fonction : Auteur
Matthieu Sérégé
  • Fonction : Auteur
Camille Petit-Etienne
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Guillaume Gay
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Gilles Cunge
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
Benjamin Cabannes-Boué
  • Fonction : Auteur
Célia Nicolet
  • Fonction : Auteur
Christophe Navarro
  • Fonction : Auteur
Ian Cayrefourcq
  • Fonction : Auteur
Marcus Müller
Georges Hadziioannou
Ilias Iliopoulos
  • Fonction : Auteur
Guillaume Fleury
Marc Zelsmann
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-03448358

Soumis le : jeudi 25 novembre 2021-10:13:32

Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-10:56:27

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Dates et versions

hal-03448358 , version 1 (25-11-2021)

Identifiants

Citer

Xavier Chevalier, Cindy Gomez Correia, Gwenaelle Pound-Lana, Philippe Bézard, Matthieu Sérégé, et al.. Top-coats for scalable nano-manufacturing with high-χ block copolymers in lithographic applications. Advances in Patterning Materials and Processes XXXVIII, Feb 2021, Online Only, France. pp.26, ⟨10.1117/12.2583717⟩. ⟨hal-03448358⟩

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