Communication Dans Un Congrès
Année : 2020
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02917886
Soumis le : jeudi 20 août 2020-08:26:06
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:09:43
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02917886 , version 1
Citer
Matthias Vidal-Dhô, Q Hubert., P Gonon., B. Pelissier, J-M Moragues., et al.. Electrical and optical localisation of leakage current and breakdown point in SiOC:H low-k dielectrics. IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, 2020, Grenoble, France. ⟨hal-02917886⟩
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