Communication Dans Un Congrès
Année : 2020
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02916807
Soumis le : mardi 18 août 2020-08:36:55
Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02916807 , version 1
- DOI : 10.1109/ICMTS48187.2020.9107909
Citer
Matthias Vidal-Dhô, Quentin Hubert, Patrice Gonon, Bernard Pelissier, Philippe Lentrein, et al.. Electrical and optical localisation of leakage current and breakdown point in SiOC:H low-k dielectrics. 2020 IEEE 33rd International Conference on Microelectronic Test Structures (ICMTS), May 2020, Edinburgh, United Kingdom. pp.1-4, ⟨10.1109/ICMTS48187.2020.9107909⟩. ⟨hal-02916807⟩
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