Sara Bouizakarne 1
Auteur
Jocelyn Etienne 2
Auteur IdHAL : jocelyn-etienne ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1866-5604
Alice Nicolas 1
Auteur
Grégoire Michaux 3
Auteur IdHAL : gregoire-michaux ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1222-5461
IGDR | UNIV-RENNES1 | CEA | BIOSIT | CNRS | UR1-UFR-SVE | UNIV-RENNES | UGA | PLASMA_ETCHING | LTM