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Advanced metrology by offline SEM data processing

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Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344512
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : lundi 4 novembre 2019 - 10:58:32
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:07

Identifiants

Collections

CNRS | CEA | LTM | UGA

Citation

Amine Lakcher, Loïc Schneider, Bertrand Le-Gratiet, Julien Ducoté, Vincent Farys, et al.. Advanced metrology by offline SEM data processing. SPIE Proceedings Series, 2017, pp.10446, art. no. 104460L. ⟨10.1117/12.2280096⟩. ⟨hal-02344512⟩

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