Advanced metrology by offline SEM data processing - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering Année : 2017

Advanced metrology by offline SEM data processing

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344512

Soumis le : lundi 4 novembre 2019-10:58:32

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:32

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Dates et versions

hal-02344512 , version 1 (04-11-2019)

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Citer

Amine Lakcher, Loïc Schneider, Bertrand Le-Gratiet, Julien Ducoté, Vincent Farys, et al.. Advanced metrology by offline SEM data processing. Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, 2017, pp.10446, art. no. 104460L. ⟨10.1117/12.2280096⟩. ⟨hal-02344512⟩

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