Article Dans Une Revue
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering
Année : 2017
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02344512
Soumis le : lundi 4 novembre 2019-10:58:32
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:32
Citer
Amine Lakcher, Loïc Schneider, Bertrand Le-Gratiet, Julien Ducoté, Vincent Farys, et al.. Advanced metrology by offline SEM data processing. Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering, 2017, pp.10446, art. no. 104460L. ⟨10.1117/12.2280096⟩. ⟨hal-02344512⟩
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