Development and characterization of an atmospheric pressure plasma reactor compatible with open-air spatial ALD - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Development and characterization of an atmospheric pressure plasma reactor compatible with open-air spatial ALD

H. Rabat
  • Fonction : Auteur
F. Zoubian
  • Fonction : Auteur
O. Aubry
  • Fonction : Auteur
N. Dumuis
  • Fonction : Auteur
S. Dozias
  • Fonction : Auteur
C. Masse de La Huerta
  • Fonction : Auteur
A. Sekkat
V. Huong Nguyen
  • Fonction : Auteur
M. Bonvalot
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
C. Vallee
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
D. Hong
  • Fonction : Auteur
D. Muñoz-Rojas
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des matériaux et du génie physique

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338971

Soumis le : mercredi 30 octobre 2019-11:08:06

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02338971 , version 1 (30-10-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338971 , version 1

Citer

H. Rabat, F. Zoubian, O. Aubry, N. Dumuis, S. Dozias, et al.. Development and characterization of an atmospheric pressure plasma reactor compatible with open-air spatial ALD. 19th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2019), Jul 2019, Bellevue (USA), United States. ⟨hal-02338971⟩

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