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Communication dans un congrès

Development and characterization of an atmospheric pressure plasma reactor compatible with open-air spatial ALD

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338971
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 30 octobre 2019 - 11:08:06
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:06

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338971, version 1

Collections

CNRS | CEA | INC-CNRS | LMGP | LTM | UGA

Citation

H. Rabat, F. Zoubian, O. Aubry, N. Dumuis, S. Dozias, et al.. Development and characterization of an atmospheric pressure plasma reactor compatible with open-air spatial ALD. 19th International Conference on Atomic layer Deposition (ALD2019), Jul 2019, Bellevue (USA), United States. ⟨hal-02338971⟩

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