Development and Characterization of an Atmospheric Pressure Plasma Reactor Compatible with Open-Air Spatial ALD - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Development and Characterization of an Atmospheric Pressure Plasma Reactor Compatible with Open-Air Spatial ALD

Domaines

Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-04762124

Soumis le : jeudi 31 octobre 2024-14:26:15

Dernière modification le : lundi 9 décembre 2024-03:30:36

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Dates et versions

hal-04762124 , version 1 (31-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04762124 , version 1

Citer

Herve Ravat, Fadi Zoubian, O. Aubry, N. Dumuis, S. Dozias, et al.. Development and Characterization of an Atmospheric Pressure Plasma Reactor Compatible with Open-Air Spatial ALD. AVS 19th International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD/ALE 2019), Jul 2019, Bellevue, United States. ⟨hal-04762124⟩

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