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Communication dans un congrès

In line and ex situ metrology and characterization to enable Area Selective Deposition

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338893
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 30 octobre 2019 - 10:51:18
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:04:06

Identifiants

  • HAL Id : hal-02338893, version 1

Collections

CNRS | CEA | DRT | LETI | LTM | UGA | CEA-GRE

Citation

C. Vallee, M. Bonvalot, B. Pelissier, J.H. Tortai, S. David, et al.. In line and ex situ metrology and characterization to enable Area Selective Deposition. AVS 66th International Symposium 2019, Oct 2019, Colombus (USA), United States. ⟨hal-02338893⟩

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