Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

High Performance and Low Energy Consumption in Phase Change Material RF Switches

Abstract : This paper presents a RF to mm-wave switch based on Germanium Telluride phase change material. An integration process compatible with a standard CMOS back end of line is proposed to realize directly heated switches. RF measurements, performed up to 65 GHz, show an ON-state resistance of 1 Ω with an OFF-state capacitance of 7 fF corresponding to a 22 THz cutoff frequency which constitutes a state-of-the-art Figure-of-Merit. Switching time of only 60 ns in both phase changes allow energy consumption one decade lower than the state-of-the-art for crystallization. A geometrical variation of GeTe dimensions shows a linear evolution of RF performance in terms of ON-state resistance and an almost unchanged performance in the OFF-state.
Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

Littérature citée [9 références]  Voir  Masquer  Télécharger

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02066763
Contributeur : Etienne Perret <>
Soumis le : mercredi 1 juillet 2020 - 17:47:34
Dernière modification le : vendredi 7 août 2020 - 03:29:05
Archivage à long terme le : : mercredi 23 septembre 2020 - 17:26:40

Fichier

D2 High Performance and Low En...
Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Identifiants

Collections

Citation

Alexandre Leon, Bruno Reig, Vincent Puyal, Etienne Perret, Philippe Ferrari, et al.. High Performance and Low Energy Consumption in Phase Change Material RF Switches. 2018 48th European Microwave Conference (EuMC), Sep 2018, Madrid, Spain. pp.491-494, ⟨10.23919/EuMC.2018.8541622⟩. ⟨hal-02066763⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

125

Téléchargements de fichiers

66