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(Invited) SOI-Type Bonded Structures for Advanced Technology Nodes

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01991972
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 24 janvier 2019 - 10:59:04
Dernière modification le : vendredi 17 juillet 2020 - 09:10:10

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Citation

J. Widiez, J. Hartmann, F. Mazen, S. Sollier, C. Veytizou, et al.. (Invited) SOI-Type Bonded Structures for Advanced Technology Nodes. ECS Transactions, Electrochemical Society, Inc., 2014, 64 (5), pp.35-48. ⟨10.1149/06405.0035ecst⟩. ⟨hal-01991972⟩

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