(Invited) SOI-Type Bonded Structures for Advanced Technology Nodes
J. Widiez
(1)
,
J. Hartmann
,
F. Mazen
,
S. Sollier
,
C. Veytizou
,
Y. Bogumilowicz
(1)
,
E. Augendre
(1)
,
M. Martin
(2)
,
F. Gonzatti
,
C. Roure
(3)
,
J. Duvernay
,
V. Loup
(1)
,
C. Euvrard-Colnat
,
A. Seignard
,
T. Baron
(2)
,
R. Cipro
(2)
,
F. Bassani
(2)
,
M. Papon
,
C. Guedj
(1)
,
I. Huyet
,
M. Rivoire
(4)
,
P. Besson
(1)
,
C. Figuet
,
W. Schwarzenbach
,
T. Signamarcheix
(1)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
3 CREAD EA 3875 - Centre de Recherche sur l'Education, les apprentissages et la didactique
4 Centre Léon Bérard [Lyon]
2 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
3 CREAD EA 3875 - Centre de Recherche sur l'Education, les apprentissages et la didactique
4 Centre Léon Bérard [Lyon]
J. Hartmann
- Fonction : Auteur
F. Mazen
- Fonction : Auteur
S. Sollier
- Fonction : Auteur
C. Veytizou
- Fonction : Auteur
F. Gonzatti
- Fonction : Auteur
C. Roure
- Fonction : Auteur
- PersonId : 616
- IdHAL : cedric-roure
J. Duvernay
- Fonction : Auteur
C. Euvrard-Colnat
- Fonction : Auteur
A. Seignard
- Fonction : Auteur
T. Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
- ORCID : 0000-0001-5005-6596
- IdRef : 130661813
F. Bassani
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1188804
- IdHAL : franck-bassani
M. Papon
- Fonction : Auteur
I. Huyet
- Fonction : Auteur
C. Figuet
- Fonction : Auteur
W. Schwarzenbach
- Fonction : Auteur