Impact of Water Edge Absorption on Silicon Oxide Direct Bonding Energy - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Impact of Water Edge Absorption on Silicon Oxide Direct Bonding Energy

Domaines

Mécanique des matériaux [physics.class-ph] Physique Générale [physics.gen-ph]

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Soumis le : mardi 8 janvier 2019-18:14:44

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Dates et versions

hal-01974475 , version 1 (08-01-2019)

Identifiants

Citer

F. Fournel, M. Tedjini, V. Larrey, F. Rieutord, C. Morales, et al.. Impact of Water Edge Absorption on Silicon Oxide Direct Bonding Energy. PRIME 2016, Oct 2016, Honolulu, United States. pp.129-134, ⟨10.1149/07509.0129ecst⟩. ⟨hal-01974475⟩

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