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Communication dans un congrès

Procédés de dépôt plasma avec injection pulsée de précurseurs (PECVD et PEALD) : Impact du réacteur et de la pression et développement de dépôts sélectifs

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960487
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 14:20:43
Dernière modification le : mardi 6 octobre 2020 - 16:30:05

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960487, version 1

Collections

Citation

C. Vallee, R. Gassilloud, R. Vallat, V. Pesce, S. Belahcen, et al.. Procédés de dépôt plasma avec injection pulsée de précurseurs (PECVD et PEALD) : Impact du réacteur et de la pression et développement de dépôts sélectifs. Journées du réseau plasma froid, Oct 2018, La Rochelle, France. ⟨hal-01960487⟩

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