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Communication dans un congrès

Atomic layer processing: from ALD to ASD

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01960042
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 19 décembre 2018 - 10:33:40
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:33

Identifiants

  • HAL Id : hal-01960042, version 1

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Citation

Christophe Vallee. Atomic layer processing: from ALD to ASD. Université Paris Diderot, Dec 2018, Paris, France. ⟨hal-01960042⟩

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