Plasma solutions for atomic-precision etching: From atomistic simulations to experiments - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Plasma solutions for atomic-precision etching: From atomistic simulations to experiments

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Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01954916

Soumis le : vendredi 14 décembre 2018-09:19:46

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:33:21

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01954916 , version 1 (14-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01954916 , version 1

Citer

E. Despiau-Pujo, P. Brichon, V. Martirosyan, J. Dubois, G. Cunge, et al.. Plasma solutions for atomic-precision etching: From atomistic simulations to experiments. 40th International Symposium on Dry Process (DPS 2018), Nov 2018, Nagoya, Japan. ⟨hal-01954916⟩

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