Communication Dans Un Congrès
Année : 2018
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01954916
Soumis le : vendredi 14 décembre 2018-09:19:46
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:29
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01954916 , version 1
Citer
E. Despiau-Pujo, P. Brichon, V. Martirosyan, J. Dubois, G. Cunge, et al.. Plasma solutions for atomic-precision etching: From atomistic simulations to experiments. 40th International Symposium on Dry Process (DPS 2018), Nov 2018, Nagoya, Japan. ⟨hal-01954916⟩
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