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Modification mechanisms of silicon thin films in low-temperature hydrogen plasmas

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Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01954910
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : vendredi 14 décembre 2018 - 09:17:07
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:22

Identifiants

  • HAL Id : hal-01954910, version 1

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Citation

V. Martirosyan, O. Joubert, E. Despiau-Pujo. Modification mechanisms of silicon thin films in low-temperature hydrogen plasmas. J. Phys. D: Appl. Phys, 2018, 52 (055204). ⟨hal-01954910⟩

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