Growth dynamics of SiGe nanowires by the vapour–liquid–solid method and its impact on SiGe/Si axial heterojunction abruptness - Université Grenoble Alpes
Article Dans Une Revue Nanotechnology Année : 2018

Growth dynamics of SiGe nanowires by the vapour–liquid–solid method and its impact on SiGe/Si axial heterojunction abruptness

J Pura
  • Fonction : Auteur
P. Periwal
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
T. Baron
Laboratoire des technologies de la microélectronique
J. Jimenez

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01947872

Soumis le : vendredi 7 décembre 2018-11:41:33

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:29

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Dates et versions

hal-01947872 , version 1 (07-12-2018)

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Citer

J Pura, P. Periwal, T. Baron, J. Jimenez. Growth dynamics of SiGe nanowires by the vapour–liquid–solid method and its impact on SiGe/Si axial heterojunction abruptness. Nanotechnology, 2018, 29 (35), pp.355602. ⟨10.1088/1361-6528/aaca74⟩. ⟨hal-01947872⟩

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