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Communication dans un congrès

Optimization of H2 thermal annealing process for the fabrication of ultra-low loss Sub-Micron Silicon-on-Insulator rib Waveguides

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01942747
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : lundi 3 décembre 2018 - 14:12:05
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:28

Identifiants

  • HAL Id : hal-01942747, version 1

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Citation

C. Bellegarde, E. Pargon, C. Sciancalepore, C. Petit-Etienne, O Lemonnier, et al.. Optimization of H2 thermal annealing process for the fabrication of ultra-low loss Sub-Micron Silicon-on-Insulator rib Waveguides. SPIE Photonic West, Silicon Photonics XIII, Conference 10108-42, Jan 2018, San Francisco, United States. ⟨hal-01942747⟩

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