Accéder directement au contenu Accéder directement à la navigation
Communication dans un congrès

Characterization of Plasma Induced Damage, Strain and Sidewall Roughness on InP Patterns and Their Impact on Luminescence

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01942743
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : lundi 3 décembre 2018 - 14:10:30
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:28

Identifiants

  • HAL Id : hal-01942743, version 1

Collections

Citation

M. Fouchier, M. Fahed, E. Pargon, N. Rochat, J.-P. Landesman, et al.. Characterization of Plasma Induced Damage, Strain and Sidewall Roughness on InP Patterns and Their Impact on Luminescence. MRS spring meeting and exhibit, Apr 2018, Phoenix, United States. ⟨hal-01942743⟩

Partager

Métriques

Consultations de la notice

33