Characterization of Plasma Induced Damage, Strain and Sidewall Roughness on InP Patterns and Their Impact on Luminescence - Université Grenoble Alpes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Characterization of Plasma Induced Damage, Strain and Sidewall Roughness on InP Patterns and Their Impact on Luminescence

Domaines

Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01942743

Soumis le : lundi 3 décembre 2018-14:10:30

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:53:28

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01942743 , version 1 (03-12-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01942743 , version 1

Citer

M. Fouchier, M. Fahed, E. Pargon, N. Rochat, J.-P. Landesman, et al.. Characterization of Plasma Induced Damage, Strain and Sidewall Roughness on InP Patterns and Their Impact on Luminescence. MRS spring meeting and exhibit, Apr 2018, Phoenix, United States. ⟨hal-01942743⟩

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