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Communication dans un congrès

DSA-based process for InAs horizontal nanowires in sub-10nm FET transistors

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01929256
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 21 novembre 2018 - 09:58:59
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:02:23

Identifiants

  • HAL Id : hal-01929256, version 1

Citation

Tiphaine Cerba, Mickaël Martin, Jeremy Moeyaert, Bassem Salem, Etienne Eustache, et al.. DSA-based process for InAs horizontal nanowires in sub-10nm FET transistors. Journées Nationales des Nanofils Semiconducteurs, J2N 2017, 2017, Grenoble, France. ⟨hal-01929256⟩

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