Improvement of sidewall roughness of sub-micron silicon-on-insulator waveguides for low-loss on-chip links - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Improvement of sidewall roughness of sub-micron silicon-on-insulator waveguides for low-loss on-chip links

Domaines

Physique [physics]

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Soumis le : mardi 9 octobre 2018-13:49:55

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:28:58

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Dates et versions

hal-01891240 , version 1 (09-10-2018)

Identifiants

Citer

Cyril Bellegarde, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, Camille Petit-Etienne. Improvement of sidewall roughness of sub-micron silicon-on-insulator waveguides for low-loss on-chip links. SPIE OPTO, 2017, San Francisco, France. ⟨10.1117/12.2250344⟩. ⟨hal-01891240⟩

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