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Communication dans un congrès

Improvement of sidewall roughness of sub-micron silicon-on-insulator waveguides for low-loss on-chip links

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01891240
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mardi 9 octobre 2018 - 13:49:55
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:19

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Cyril Bellegarde, Erwine Pargon, Corrado Sciancalepore, Camille Petit-Etienne. Improvement of sidewall roughness of sub-micron silicon-on-insulator waveguides for low-loss on-chip links. SPIE OPTO, 2017, San Francisco, France. ⟨10.1117/12.2250344⟩. ⟨hal-01891240⟩

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