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Communication dans un congrès

Si-containing high- block-copolymers for nanolithography applications

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01882744
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 27 septembre 2018 - 13:10:17
Dernière modification le : samedi 1 août 2020 - 03:03:17

Identifiants

  • HAL Id : hal-01882744, version 1

Citation

A. Legrain, C. Girardot, X. Chevalier, C. Navarro, I. Cayrefourcq, et al.. Si-containing high- block-copolymers for nanolithography applications. Directed Self-Assembly Symposium – DSA 2016, Oct 2016, Grenoble, France. ⟨hal-01882744⟩

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