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XPS investigations of graphene surface cleaning using H 2 - and Cl 2 -based inductively coupled plasma

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-01881979
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : mercredi 26 septembre 2018 - 14:45:46
Dernière modification le : mardi 11 août 2020 - 12:58:05

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D. Ferrah, O. Renault, C. Petit-Etienne, H. Okuno, C. Berne, et al.. XPS investigations of graphene surface cleaning using H 2 - and Cl 2 -based inductively coupled plasma. Surface and Interface Analysis, Wiley-Blackwell, 2016, 48 (7), pp.451 - 455. ⟨10.1002/sia.6010⟩. ⟨hal-01881979⟩

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