Communication Dans Un Congrès
Année : 2019
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02338883
Soumis le : mercredi 30 octobre 2019-10:48:12
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:23
Dates et versions
Licence
Identifiants
- HAL Id : hal-02338883 , version 1
Citer
Christophe Vallée. Cold plasma for Atomic Layer Processing: from ALD and ALE to Area Selective Deposition. International workshop on nanoparticles and nanostructures synthesized by plasmas for energy applications (XXXIV ICPIG) (ICRP-10), Jul 2019, Sapporo, Japan. ⟨hal-02338883⟩
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