Développement d'outils numériques en microélectronique, application à la lithographie optique et à la métrologie dimensionnelle - Université Grenoble Alpes
Hdr Année : 2023

Développement d'outils numériques en microélectronique, application à la lithographie optique et à la métrologie dimensionnelle

Besacier Maxime
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Sciences de l'information et de la communication

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/tel-04723888

Soumis le : lundi 7 octobre 2024-13:59:08

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-10:01:05

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Dates et versions

tel-04723888 , version 1 (07-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : tel-04723888 , version 1

Citer

Besacier Maxime. Développement d'outils numériques en microélectronique, application à la lithographie optique et à la métrologie dimensionnelle. Sciences de l'information et de la communication. Université grenoble Alpes, 2023. ⟨tel-04723888⟩

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