Article Dans Une Revue
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
Année : 2022
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04907067
Soumis le : mercredi 22 janvier 2025-18:09:33
Dernière modification le : jeudi 23 janvier 2025-03:33:50
Citer
Jerome Reche, Patrice Gergaud, Yoann Blancquaert, Maxime Besacier, Guillaume Freychet. Shape and Roughness Extraction of Line Gratings by Small Angle X-Ray Scattering: Statistics and Simulations. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 2022, 35 (3), pp.425-431. ⟨10.1109/TSM.2022.3176026⟩. ⟨hal-04907067⟩
0
Consultations
0
Téléchargements