Communication Dans Un Congrès
Année : 2024
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04805159
Soumis le : mardi 26 novembre 2024-15:19:13
Dernière modification le : mercredi 27 novembre 2024-08:12:58
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04805159 , version 1
Citer
J. Romero Cedillo, G. Cunge, E. Despiau-Pujo. SF6- and CF-based plasmas interaction with Si and SiO2 at room and cryogenic temperature: Insights from molecular dynamics simulation”. 70th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Nov 2024, Tampa, United States. ⟨hal-04805159⟩
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