SF6- and CF-based plasmas interaction with Si and SiO2 at room and cryogenic temperature: Insights from molecular dynamics simulation” - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

SF6- and CF-based plasmas interaction with Si and SiO2 at room and cryogenic temperature: Insights from molecular dynamics simulation”

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04805159

Soumis le : mardi 26 novembre 2024-15:19:13

Dernière modification le : mercredi 27 novembre 2024-08:12:58

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04805159 , version 1 (26-11-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04805159 , version 1

Citer

J. Romero Cedillo, G. Cunge, E. Despiau-Pujo. SF6- and CF-based plasmas interaction with Si and SiO2 at room and cryogenic temperature: Insights from molecular dynamics simulation”. 70th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Nov 2024, Tampa, United States. ⟨hal-04805159⟩

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