SF6- and CF-based plasmas interaction with Si and SiO2 at room and cryogenic temperature: Insights from molecular dynamics simulation” - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

SF6- and CF-based plasmas interaction with Si and SiO2 at room and cryogenic temperature: Insights from molecular dynamics simulation”

Domaines

Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04805159

Soumis le : mardi 26 novembre 2024-15:19:13

Dernière modification le : lundi 9 décembre 2024-03:20:41

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04805159 , version 1 (26-11-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04805159 , version 1

Citer

J. Romero Cedillo, G. Cunge, E. Despiau-Pujo. SF6- and CF-based plasmas interaction with Si and SiO2 at room and cryogenic temperature: Insights from molecular dynamics simulation”. 70th American Vacuum Society (AVS) International Symposium, Nov 2024, Tampa, United States. ⟨hal-04805159⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS LTM MINASEE PROSPECT
0 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More