Communication Dans Un Congrès
Année : 2024
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04805140
Soumis le : mardi 26 novembre 2024-15:16:41
Dernière modification le : lundi 9 décembre 2024-03:23:33
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04805140 , version 1
Citer
E Despiau-Pujo, P Ducluzaux, D Ristoiu, G Cunge. Multiscale hybrid modelling of resist microlenses etching in DF-CCP CF4 plasmas. Plasma Etch Strip in Microelectronics (PESM), Jun 2024, Leuven, Belgium. ⟨hal-04805140⟩
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