3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies

Domaines

Physique [physics]
Fichier principal
Vignette du fichier
Proceedings_EMLC_Gaby_Belot version auteur.pdf (1.13 Mo) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Cécile Gourgon  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04777609

Soumis le : jeudi 14 novembre 2024-10:17:49

Dernière modification le : mardi 19 novembre 2024-15:55:10

Télécharger pour visualiser

Dates et versions

hal-04777609 , version 1 (14-11-2024)

Identifiants

Citer

Gaby Bélot, Aurélien Fay, Élodie Sungauer, Merlin Moreau, Sébastien Bérard-Bergery, et al.. 3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies. 39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), Jun 2024, Grenoble, France. ⟨doi.org/10.1117/12.3028461⟩. ⟨hal-04777609⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS LTM DRT LETI CEA-GRE MINASEE PROSPECT
0 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

More