3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies

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Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-04777609 , version 1 (14-11-2024)

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Citer

Gaby Bélot, Aurélien Fay, Élodie Sungauer, Merlin Moreau, Sébastien Bérard-Bergery, et al.. 3D structures sidewalls tuning using smart grayscale photolithography mask strategies. 39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), Jun 2024, Grenoble, France. ⟨doi.org/10.1117/12.3028461⟩. ⟨hal-04777609⟩
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