Nanopillars imprinted on 200 mm GaN/SOI wafers for bottom-up µleds fabrication - Université Grenoble Alpes
Poster De Conférence Année : 2024

Nanopillars imprinted on 200 mm GaN/SOI wafers for bottom-up µleds fabrication

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04777588

Soumis le : mardi 12 novembre 2024-13:03:27

Dernière modification le : lundi 9 décembre 2024-03:33:45

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04777588 , version 1 (12-11-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04777588 , version 1

Citer

C. Gourgon, N. Labchir, J. Rêche, C. Petit Etienne, S. Labau, et al.. Nanopillars imprinted on 200 mm GaN/SOI wafers for bottom-up µleds fabrication. 39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), 2024, Grenoble, France. ⟨hal-04777588⟩

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