Poster De Conférence
Année : 2024
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04777588
Soumis le : mardi 12 novembre 2024-13:03:27
Dernière modification le : lundi 9 décembre 2024-03:33:45
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04777588 , version 1
Citer
C. Gourgon, N. Labchir, J. Rêche, C. Petit Etienne, S. Labau, et al.. Nanopillars imprinted on 200 mm GaN/SOI wafers for bottom-up µleds fabrication. 39th European Mask and Lithography Conference (EMLC 2024), 2024, Grenoble, France. ⟨hal-04777588⟩
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