Communication Dans Un Congrès
Année : 2024
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04765390
Soumis le : lundi 4 novembre 2024-14:46:37
Dernière modification le : mardi 5 novembre 2024-03:34:10
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04765390 , version 1
Citer
M. Zelsmann. Self-assembly and dry etching of high- block copolymers in a microelectronics context. International Conference on Directed Self‐Assembly and Nanostructured Materials – DSA 2024, Oct 2024, Grenoble, France. ⟨hal-04765390⟩
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