Pre-amorphization implantation (PAI) process assessment for GaN contact technologies - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

Pre-amorphization implantation (PAI) process assessment for GaN contact technologies

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Physique [physics]

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04759809

Soumis le : mercredi 30 octobre 2024-10:14:14

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-09:54:52

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04759809 , version 1 (30-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04759809 , version 1

Citer

L. Xu, S. Guillemin, M. Coig, R. Souil, P. Gergaud, et al.. Pre-amorphization implantation (PAI) process assessment for GaN contact technologies. MAM, Mar 2024, Milan, Italy. ⟨hal-04759809⟩

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