Pre-amorphization implantation (PAI) process assessment for GaN contact technologies - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

Pre-amorphization implantation (PAI) process assessment for GaN contact technologies

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04759809 , version 1 (30-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04759809 , version 1

Citer

L. Xu, S. Guillemin, M. Coig, R. Souil, P. Gergaud, et al.. Pre-amorphization implantation (PAI) process assessment for GaN contact technologies. MAM, Mar 2024, Milan, Italy. ⟨hal-04759809⟩
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