Communication Dans Un Congrès Année : 2021

The triumphs and tragedies of spatial atomic layer deposition

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Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04735980 , version 1 (14-10-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04735980 , version 1

Citer

David Munoz-Rojas. The triumphs and tragedies of spatial atomic layer deposition. MRS Fall meeting 2021, Nov 2021, Boston, United States. ⟨hal-04735980⟩
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