NIL, Nanopatterning and etching of nanopillars for GaN-based microLEDs - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

NIL, Nanopatterning and etching of nanopillars for GaN-based microLEDs

N. Labchir
Laboratoire des technologies de la microélectronique
S. Hammami
  • Fonction : Auteur
K. Baril
  • Fonction : Auteur
M. Wehbe
  • Fonction : Auteur
S. Labau
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
C. Petit-Etienne
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
B. Alloing
  • Fonction : Auteur
M. Charles
  • Fonction : Auteur
J. Zuniga Perez
C. Gourgon
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Domaines

Physique [physics]

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https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04624762

Soumis le : mardi 25 juin 2024-15:47:10

Dernière modification le : jeudi 12 décembre 2024-03:31:46

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04624762 , version 1 (25-06-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04624762 , version 1

Citer

N. Labchir, S. Hammami, K. Baril, M. Wehbe, S. Labau, et al.. NIL, Nanopatterning and etching of nanopillars for GaN-based microLEDs. 2023 MRS Fall Meeting & Exhibit, Nov 2023, Boston, Massachusetts, USA, United States. ⟨hal-04624762⟩

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