Large Diameter Epi-Ready InP on Si (InPOSi) Substrates
B. Ghyselen
,
Fx Darras
,
O. Mourey
,
C. Navone
,
L. Sanchez
,
C. Di Nardo
,
C. Crobu
,
L. Toselli
(1)
,
B. Rousset
(2)
,
J. Dechamp
(1)
,
F. Milesi
(3)
,
L. Gabette
,
F. Fournel
(1)
,
J. Decobert
(4)
,
C. Besancon
(5)
,
M. Martin
(6)
,
J. Moeyaert
(6)
,
T. Baron
(6)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 SBT - Service des Basses Températures
3 DACLE-LETI - Département d'Architectures, Conception et Logiciels Embarqués-LETI
4 III-V Lab - Alcatel-Thalès III-V lab
5 LTDS - Laboratoire de Tribologie et Dynamique des Systèmes
6 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 SBT - Service des Basses Températures
3 DACLE-LETI - Département d'Architectures, Conception et Logiciels Embarqués-LETI
4 III-V Lab - Alcatel-Thalès III-V lab
5 LTDS - Laboratoire de Tribologie et Dynamique des Systèmes
6 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
B. Ghyselen
- Fonction : Auteur
Fx Darras
- Fonction : Auteur
O. Mourey
- Fonction : Auteur
C. Navone
- Fonction : Auteur
L. Sanchez
- Fonction : Auteur
C. Di Nardo
- Fonction : Auteur
C. Crobu
- Fonction : Auteur
L. Gabette
- Fonction : Auteur