Communication Dans Un Congrès
Année : 2023
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-04594538
Soumis le : jeudi 30 mai 2024-15:17:31
Dernière modification le : mercredi 28 août 2024-10:47:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04594538 , version 1
Citer
A. F. Putranto, C. Petit-Etienne, B. Cabannes-Boué, G. Fleury, G. Cunge, et al.. Plasma etching processes of a sub-10 nm resolution high-χ block copolymer self-assembled into spin-on-carbon trenches. Plasma Etch and Strip for Microtechnology workshop – PESM 2023, Jun 2023, Grenoble, France. ⟨hal-04594538⟩
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