Article Dans Une Revue
Semiconductor Science and Technology
Année : 2020
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Soumis le : vendredi 22 janvier 2021-16:38:05
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:39:46
Citer
T Arjmand, M Legallais, T Haffner, M Bawedin, C Ternon, et al.. Development of a robust fabrication process for single silicon nanowire-based omega gate transistors on polyamide substrate. Semiconductor Science and Technology, 2020, 36 (2), pp.025003. ⟨10.1088/1361-6641/abcade⟩. ⟨hal-03118921⟩
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