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Communication dans un congrès

Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classi_cation

Type de document :
Communication dans un congrès
Liste complète des métadonnées

https://hal.univ-grenoble-alpes.fr/hal-02362788
Contributeur : Marielle Clot <>
Soumis le : jeudi 14 novembre 2019 - 09:33:11
Dernière modification le : mardi 6 octobre 2020 - 16:30:05

Identifiants

  • HAL Id : hal-02362788, version 1

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Citation

Julien Ducote, Amine Lakcher, Laurent Bidault, Antoine-Regis Philipot, Bertrand Le-Gratiet, et al.. Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classi_cation. 34th European Mask and Lithography Conference, 2018, Grenoble, France. ⟨hal-02362788⟩

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