Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classi_cation - Université Grenoble Alpes
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classi_cation

Julien Ducote
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
Amine Lakcher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
STMicroelectronics [Crolles]
Laurent Bidault
Antoine-Regis Philipot
  • Fonction : Auteur
Bertrand Le-Gratiet
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
Alain Ostrovsky
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Crolles]
Etienne Mortini
  • Fonction : Auteur
Uwe Behringer
  • Fonction : Auteur
Jo Finders
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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Soumis le : jeudi 14 novembre 2019-09:33:11

Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-10:15:13

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Dates et versions

hal-02362788 , version 1 (14-11-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02362788 , version 1

Citer

Julien Ducote, Amine Lakcher, Laurent Bidault, Antoine-Regis Philipot, Bertrand Le-Gratiet, et al.. Microlens under melt in-line monitoring based on application of neural network automatic defect classi_cation. 34th European Mask and Lithography Conference, 2018, Grenoble, France. ⟨hal-02362788⟩

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